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プラズマ放電が安定しない |
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・ 均一な放電をたてたい
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ノイズ対策 |
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・ ESC電源にノイズがのる
・ ヒーター、熱電対にノイズがのる |
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マッチングが取れない |
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・ マッチング範囲を広げたい
・ Pr=0W としたい
・ 高速で負荷変動に追従させたい |
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アースの問題 |
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・ 電極構造の相談
・ 高周波におけるアースとは |
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1台の電源で複数チャンバーに
供給したい |
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・ 電源を切り替えて使いたい |
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新機種の開発 |
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・ 装置との一体化
・ 小型化 軽量化
・ 高効率化 |
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ケーブルなどの相談 |
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・ ケーブルが加熱する
・ ケーブル数を減らしたい |
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