• 高周波電源

  NRFの高周波電源は、100kHz〜915MHz帯まで幅広い周波数に対応。ユーザー様のニーズに合ったRF電源にカスタマイズや独自仕様の電源を開発致します。1台から開発製造も可能です。

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• 自動整合器

  NRFの自動整合器は、一品一品お客様の仕様・装置に合わせて設計。お客様の様々なプラズマ負荷に対し、ベストマッチングするように設計しておりますので、安定したプラズマを装置に供給致します。

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• 高周波周辺機器

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NRF RF-GENERATOR 製品マトリクス

半導体製造装置・液晶(LCD／PDP／LED／有機EL)製造装置・太陽電池製造装置・MEMS製造装置・DLC製造装置・
プラズマ洗浄装置・フィルム等各種薄膜製造装置・・・など、様々な先端技術を用いるメーカーに御採用頂いております。

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