about nrf

  1. 01

    「研究」

  2. 02

    「開発・製造」

  3. 03

    「コンサルティング」

デジタル化を陰で支える会社

IoT(モノのインターネット)、5G、クラウド、AI、スマートフォン、VR(仮想現実)など、
最新テクノロジーには必ず半導体が使われています。
デジタル化を加速させる役割を担う半導体を製作する装置には、弊社の高周波電源はなくてはならない製品の一つです。
弊社の技術は社会のデジタル化を陰で支える会社です。

  1. 01.研究

    当社は、高周波の可能性を日々研究しています。
    例えば電気自動車の充電に使われる電力伝送用の高周波電源の研究、
    µmやnm微細化技術に対応する為のパルス技術の研究、
    高効率高周波パワーアンプ(SiCやGaN)の研究など積極的に最新技術を取り入れています。
    現状に甘んじることなく、高周波分野でNO1を目指します。

  2. 02.設計開発・製造

    お客様のニーズに合わせた高周波電源の設計開発を行っております。
    お客様の要求を徹底的聞き出し、お客様と一体となって製品を作り上げていくのが、NRFの強みです。
    開発から製造まで一体で行うことで、スピーディーかつ低コストで対応致します。
    1品からカスタム対応が可能ですので、お客様の装置にあった製品の供給が可能です。

  3. 03.コンサルティング

    私たちは、販売した商品がお客様の装置に乗り、社会に貢献することを第一に考えています。
    その為、販売した商品を装置に取り付けてたのちの問題にも徹底的にサポートしてまいります。
    お客様からの相談事項については、電話対応、リモート会議、現地対応など、臨機応変に対処してまいります。
    長年培った経験をもとに問題解決のお手伝いをさせて頂きます。

まずはご要望・ご相談をしっかりお聞きした上で、各分野の専門のスタッフが対応させていただきます。
お電話・フォームよりお気軽にお問合せください。

お問い合わせ

product

高周波電源とは?

⾼周波電源(RF-Generator)は、別名RF電源(radio frequency generator)とも呼ばれ、弊社の社名の由来にもなっています。

⼀般的には10kHz以上の⾼周波電流を発⽣させる装置を指します。
弊社の場合、80kHz〜1GHzまで対応可能です。
⽇本では、国際規格の(ISMバンド)の関係上、13.56MHzが最も使⽤されています。

活用シーンは?

半導体製造装置、液晶パネル製造装置、太陽電池製造装置、MEMS製造装置、DLC製造装置、プラズマ洗浄装置、電⼒伝送、乾燥・解凍、誘導加熱、⾦属やプラスチックの溶接・加⼯、加速器、表⾯改質、がん温熱治療器等に使われています。

弊社の⾼周波電源の場合、半導体製造装置(エッチング、CVD、PVD、アッシングなどのプロセス)向けで多く御採⽤頂いております。

strengths

  1. 01

    高い技術力

    RFアナログ技術、先端デジタル技術を駆使し、どんな課題にも対応できる技術力を持っております。

  2. 02

    幅広いカスタマイズ対応

    RFアナログ技術、先端デジタル技術を駆使し、どんな課題にも対応できる技術力を持っております。

  3. 03

    広範囲の周波数をカバー

    半導体で40kHz~915kHzまでの製造実績があります。
    周波数が高いものを半導体で出力することは難しい中、半導体での製造実績があることが強みです。

  4. 04

    経営基盤の安定

    大手企業様とのお取引も多数あるため、経営状態が常に安定しております。
    資金力を活かした大規模な案件もご対応が可能です。

  5. 05

    業界内の多くの
    企業様とのお取引実績

    業界内のほとんどの企業様と一度はお取引経験があり、ご対応してきた課題や顧客数も多いので、様々な状況に柔軟にご対応が可能です。

製品紹介ページにて、各製品の詳しい情報をご覧いただけます。
ご要望や課題に合わせて、最適な製品選び、カスタマイズをサポートさせていただきます。

製品紹介一覧

case study

  1. 011台の整合器で3周波の制御に成功。従来不可能だった実験が可能に。

    薄膜形成装置を製作しているメーカーから、研究開発用途で3種の周波数を3台の電源と、1台の整合器で制御したいという御相談を頂きました。
    それまで1台の整合器で3周波を制御する実績はございませんでしたが、物理的な切替器を内部に設けることで対応できるようになりました。
    従来不可能だった実験ができるようになり、最終ユーザー様にも喜んでいただいたようです。

  2. 02周辺機器に影響を及ぼす、⾼周波ノイズ対策を実施。

    お客様の装置に⾼周波ノイズがのってしまい周辺機器に影響が出ているので何とかしてほしいと依頼があり、ノイズ対策を⾏いました。
    調査したところ、信号線を伝って⾼周波ノイズが外に漏れていることを突き⽌め、ノイズカットフィルターを付けることで問題を解決しました。

  3. 03整合スピードを極限までアップ。

    テプラズマ着⽕までのスピードを上げたいという相談があり、下記対策により、極限まで速めることが可能となりました。
    ①電⼒依存しない演算を⾏い、機械系の応答速度を最速にする。
    ②RF-ON時の可変素⼦の位置を設定することにより、プラズマ着⽕までの不要な遅れ時間を解消。