NM01A-xx/NM03A-xx/NM05A-xx
高速マッチングが可能な自動整合器です。 装置の近くでマッチング調整可能なハンディーコントローラを付属しています。
仕様紹介
| 通過RF電力 | 100W 300W 500W |
|---|---|
| 周波数 | 13.56MHz |
| AC入力 | AC100～200[V] 1φ |
| バリコン | エアバリコン若しくは真空バリコン（選択） |
| 入力インピーダンス | 50Ω |
| 冷却方式 | 空冷式（FAN AC100VもしくはDC24V） |
| RF入力コネクタ | N型 |
| RF出力 | 銅板出力もしくは、HN型 |
| 外形寸法 | DXXX×WXXX×HXXX |