NM1A-xx/NM2A-xx/NM3A-xx

高速マッチングが可能な自動整合器です。 装置の近くでマッチング調整可能なハンディーコントローラを付属しています。
製品紹介

高速マッチングが可能な自動整合器です。 装置の近くでマッチング調整可能なハンディーコントローラを付属しています。
| 通過RF電力 | 1000W 200W 3000W |
|---|---|
| 周波数 | 13.56MHz |
| AC入力 | AC100~200[V] 1φ |
| バリコン | 真空バリコン |
| 入力インピーダンス | 50Ω |
| 冷却方式 | 空冷式(1kWまで)、空冷水冷併用(2kW~3kW) |
| RF入力コネクタ | HN型 |
| RF出力 | 銅板出力 |
| 外形寸法 | DXXX×WXXX×HXXX |