NM1A-xx/NM2A-xx/NM3A-xx

高速マッチングが可能な自動整合器です。 装置の近くでマッチング調整可能なハンディーコントローラを付属しています。

仕様紹介

通過RF電力 1000W 200W 3000W
周波数 13.56MHz
AC入力 AC100~200[V] 1φ
バリコン 真空バリコン
入力インピーダンス 50Ω
冷却方式 空冷式(1kWまで)、空冷水冷併用(2kW~3kW)
RF入力コネクタ HN型
RF出力 銅板出力
外形寸法 DXXX×WXXX×HXXX

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